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高端定制设备
单晶提拉炉
单晶提拉炉

一、 主要技术参数:
1、熔料量:2Kg(以金属铟7.3g/cm3计)
2、工作温度:500℃;
3、设计温度:800℃;
4、坩埚材质:超高纯石墨;
5、加热方式:石墨加热;
6、电极中心距/数量:300mm(一对);
7、功率:30KW;
8、冷炉的极限真空度:≤6.67*10-2pa;
9、冷炉泄漏率:≤10Pa/h;
10、炉膛设计压力:≤0.03MPa;
11、籽晶拉速范围:2~80mm/h;
12、籽晶杆快升/快降: ≥100mm/min;
13、籽晶杆转速范围:1~50rpm;
14、坩埚行程:150mm;
15、坩埚转速范围:5~15rpm;
16、下降杆快升/快降:50mm/min;
17、水冷系统: 室外闭式循环冷却系统,流量5m3/h。
18、控温精度:±1℃。
二、 结构及性能说明:
  SG-GJL800型单晶提拉炉主要部分组成:
1、炉体:真空炉室尺寸φ400*700mm,双层通水炉壁用304不锈钢,炉门为侧开门,炉门上设有通水石英观察窗。
2、真空系统:
2.1为适应用户的工艺要求,配备扩散泵机组。
2.2真空阀为真空碟阀;在机械泵抽气口安装有电磁真空压差放气阀。
3、真空计:真空计是用来测量真空度的装置。设备中设置了压力真空表(安装在与炉体的真空管道上)与热偶真空计两种;真空硅管安装在炉体排气口与真空碟阀连接的管道上,用来测量真空度。
4、提拉机构:采用滚珠丝杠加导轨拖动移动平台直线运动。 称重控制采用应变式传感器。提拉速度和旋转速度在触摸屏上设置,具有故障报警、报警记录、数据记录,断电自动处理,超压报警等,数据记录可以通过U盘拷出放入计算机进行分析。
5、加热系统:隔热屏采用石墨及碳毡材料制作,结构型式为圆形隔热屏,加热器也采用石墨圆型结构型式,安装在圆形隔热屏的圆周上,使其形成一个整体;加热器采用铜电极连接石墨发热体,易于拆卸和维修。
6、电控系统:昆仑通泰10寸液晶触摸屏显示,以实现数据的存储、输出,可通过U盘复制到计算机上,曲线实时显示屏;让程序设置更快捷,设备运行状态更直观,设定数据和操作都是图文界面,操作方便;针对数据的存储、输出,可通过USB接口复制数据到计算机上长期保存,可以预设多条加热曲线。控温精度±1℃。专家模块和控制算法相结合,实现精密控温,有效抑制温度过冲。超温报警系统具有切断主回路、声光报警和自动恢复解除功能。

 


注:可根据要求定制炉膛尺寸,其他特殊要求订货时请说明。
中国科学院上海光学精密机械研究所实验炉-质量优势:
一、炉壳、炉膛
1、双层优质碳钢板、表面防锈耐高温烤漆处理;
2、氧化铝多晶纤维高温炉膛,美观节能。
二、电器、控温

1、电子元件全部德力西、可控硅是日本或德国原装;
2、为了安全、高效使用,采用进口全铜隔离式变压器;
3、温度控制和检测全部采用
    单铂铑(S型)≤1500℃;
    双铂铑(B型)≤1800℃;
三、研究团队
    中国科学院上海光学精密机械研究所资深高级工程师、工学硕士、博士可以为贵公司、科研院所共同选型实验炉,高级设计师共同做高温炉设计方案。


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