氟化锂(LiF)晶体属于立方晶系，解理面为(100)面，具有优良的光学性能，尤其在深紫外波段。随着近年来深紫外技术的发展，氟化锂晶体以其在深紫外波段高的透过率和短的截止波长收到越来越多的关注。
规格参数：
| 材料 | LiF |
| 方向 | <100>,＜5° |
| 平行度 | 10″ |
| 垂直度 | 5′ |
| 表面光洁度 | 20/10 |
| 波前畸变 | λ/8 @ 632nm |
| 面形（平面度） | λ/8 @ 632nm |
| 通光口径 | ＞95% |
| 倒边 | ＜0.2*45° |
| 尺寸公差 | ±0.1mm |
| 最大尺寸 | Dia75*100mm |
