
多路混气管式炉采用氧化铝多品体纤维固化炉膛,工作温度区间100℃至1600℃,配备多路混气系统(可选配质量流量计或转子流量计精准控制进气流量),真空系统可选配分子泵机组或机械泵。
主要用途和适用范围:
是碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、Zn0纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验的理想设备。
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