工艺说明：
  1、计量院区熔计量设备有2套温场，可以用不同生长速率和不同组分来做比较试验。 
  2、区熔炉膛用手工方法微调保温层厚度和长度来确定温度梯度，在炉膛测温孔可以测定晶体生长所需温度梯度和合适温场。
  3、生长轴长:800mm
  4、自动移动速率:5~10mm/时（控制精度0.1㎜）
  5、快速移动速率:5-20mm/分
  6、不锈钢温场架2套
  7、可调节上下托盘，带真空KF接口
  8、独立控制柜，液晶触摸屏显示，以实现数据的存储、输出，可通过U盘复制到计算机上，曲线实时显示屏;让程序设置更快捷,设备运行状态更直观，设定数据和操作都是图文界面，操作方便；针对数据的存储、输出，可以预设多条加热曲线，可通过USB接口复制数据到计算机上长期保存。
技术参数：