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真空石墨炉
真空石墨炉

结构介绍

   炉体由炉门、炉身、隔热屏和加热器、承料台等组成。

   炉门是由双层封头及法兰盘组焊而成,采用双层夹壁结构,内、外封头内有循环冷却水进行冷却。炉门内封头采用不锈钢板制作。

   炉身内外壳由不锈钢板制成,双层水冷夹壁结构;炉身上设有电极引出装置、热电偶测温装置及充气孔和排气孔;炉门和炉体通过门铰链连接,炉门开启方式为侧开门;在炉门上设有观察孔及炉门压紧装置。

   隔热屏采用石墨及碳毡材料制作,结构型式为圆形隔热屏,由里到外,第一层为石墨硬毡材料,第二层起采用石墨毡为保温材料。

   加热器也采用圆型结构型式,安装在圆形隔热屏的圆周上,使其形成一个回路;加热器采用石墨板为发热体,易于拆卸和维修。加热器的绝缘材料均采用高纯氮化硼;承料架采用石墨材料加工而成。

   真空充气系统真空系统由罗茨泵、机械泵,高真空气动挡板阀、真空管道、真空规管、压力表及复合真空计等组成。充气装置(不含气体干燥、气体过滤、气体检漏装置及尾气处理系统)主要由充气阀、浮球流量计(或选配质量流量计)、充气管道、排气阀等组成,用于工艺所需充氩气、氮气的气氛要求,最大充气压力≤0.03MPa(微正压、表压)。

   水冷系统由总进水管、总出水管、多路分进水管、多路分出水管、阀门及压力表等组成。冷却水由总进水管经过各分进水管进入到炉壳、炉门、电极、扩散泵等需要冷却的地方,再经各分路出水管汇集至总出水管排出。总进水管上设有电接点压力表,当总进水压力低于设定值时,控制系统会有声光报警并能自动切断加热器电源。每路分进水管上都装有阀门,可以对单路的冷却水的流量进行调节(水源需方自备或选配冷水机)。

 

主要技术参数

1、加热区数:1区

2、设计最高温度:1700℃

3、工作温度≤1650℃

4、有效工作区mm400*400*400(深*宽*高)

5、极限真空度≤50Pa(冷态空载)

6、真空系统配置:罗茨泵+机械泵              

7、充气方式: 自动充气,真空抽至50pa后真空泵停止工作,进气阀自动打开充气至6000pa后保压烧结,气体介质: 氮气,氩气(正压≤0.03Mpa下使用)

8、温度控制方式:昆仑通态液晶触摸屏+日本三菱PLC控制

9、温度控制范围:室温——1650℃采用钨铼热电偶

10、温度控制精度:≤±1℃

11、升温速率:1-10℃/min

 


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