设备组成:
布里奇曼晶体生长(坩埚下降法),用电阻炉或感应加热炉,常用于碱土金属卤化物和氟化物单晶生长。设备主要由加热炉膛,密封炉管腔室,伺服引上和下降装置、控制系统及真空系统组成。
加热炉膛:
炉膛全部采用氧化铝纤维材料经独特数控工艺构筑而成,纤维最高耐温1400℃,衬体制作完成后,表面喷有一层高温固化剂,形成一层隔热墙,增大衬体面的强度及热辐射性能,并进一步减小衬体蓄热损失,达到快速升温的效果,最大限度提高炉子的热效率,具有良好的节能效果。保温材料由高铝纤维超硬板、含锆高铝针刺毯、高铝耐火纤维制品组成复合保温层,保温效果好。
1、设计温度:1100℃
2、工作温度:≤1000℃
3、加热功率:≤10Kw±10%
4、加热方式:进口康泰尔电阻丝加热
5、石英管尺寸:Φ100×1200mm
6、加热区长度:200+200+200mm 三区独立控制
7、控温系统:热电偶+程序仪表自动控温
8、控温元件:进口马琳K型热电偶
9、极限真空度:≤50pa(冷态空载)
密封炉管腔室:
炉管采用耐高温石英管,上下采用KF不锈钢通水法兰密封(水源需方自备),上法兰设计布里奇慢装置接口与焊接波纹管链接,采用伺服电机,提拉速度精度高,可调性强,同时配置磁流体密封。
伺服提拉装置:
电机控制采用PLC+触摸屏方式,速度位移按照工艺要求任意设定,保证其行走速度的稳定性和位置的准确性。
慢速:0.01-10mm/h(伺服控制)
快速:50-200mm/min(伺服控制)
位移行程:600mm
控制系统:
温度控制系采用厦门宇电AI808P移相调压控制。位移采用三菱FXPLC所有操作由人机界面智能操作,停止,暂停,程序设定。升降速度设定。
真空系统:
真空系统采用单级泵配置,由一台BSV40机械泵、电磁压差阀、充气阀、放气阀、自动泄压阀、真空压力表、数显真空测量规管等装置,真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动,真空度的测量由成都正华数显真空计执行。
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