一．用途:
  本所无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
二．特点：
  1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class100
  2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
  3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.AFilter20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class100,排气口：３"φ(附自动启闭风门)
  4.强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到温度控制精度。
三．产品技术参数：
  1.主要技术指标：
    无尘等级：Class100;
    温度范围：60～+300℃；
    温度均匀度：200℃±4℃;
    温度波动度：±0.5℃（空载）
    温控精度：±0.1℃;
    工作尺寸：W800*D600*H1300
    电源：380v,50Hz，15KW
    网板：2块（高度可调节)
  2、箱体结构：
    烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方；
    箱体材料：外箱采用SUS304，1.5mm之拉丝不锈钢，并经碱性苏打水清洁，可防止微尘；
    内胆材料：采用优质SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生PARTICLE；
    中桶材料：采用优质SUS304，2.0mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密封加工(防污染)。
  3、温控系统：
    采用台湾“宣荣”CAHO温度控制器，控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定，准确度±0.3%FS。
    讯号来源：采用PT100热电阻±0.5%。
    输出被控制组件：SSR无接点讯号输出。
  4、完善的安全保护措施：
    漏电断路器、控制线路保险丝装置、超温防止保护装置、电热过电流保护装置、马达过电流保护、机台异常蜂鸣器警示、逆向防止器、门面安全开关
  5、选购设备(需另外收费)：
    可程式温控器、无纸记录仪、三色指示灯、烘烤架
注:无尘等级和尺寸可根据要求定制。