
产品描述:
提拉法生长炉操作使用全自动的操作方式,籽晶的下种采用电动上下,转速扭矩均衡,提拉速度稳定0.2mm/min。晶体等径、晶体的脱离都采用无人值守全自动化控制。智能化控温系统,控温稳定在正负1度。炉膛温区180mm*直径220m m本实用新型属于一种直拉法生产各种氧化物人工晶体的设备。其特征在于:炉体为圆筒形立式双层夹套结构,中间有冷却水;籽晶杆通过柔性带、减速轮组与电机联接;手动机构通过传动杆、同步带与滚珠丝杠联接。本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉,其目的在于解决以往的晶体生长炉在无法准确方便地调整籽晶杆在炉内的位置、晶转电机经常在低转速状态下运行,电流较大,炉体加工制造复杂等方面存在的问题。
晶体提拉炉采用驱动、传动技术及配套装置,使籽晶杆运转平衡,无爬行和振动。同时采用可编程的炉温控制装置,实现了自动等径和炉温自动控制,并有手动快速升降机构,是2英寸~4英寸铌酸锂晶体生长及其它1500℃以下的氧化物晶体生长理想设备。
主要技术数据:
名 称 | 单 位 | 指标数 |
炉温 | ℃ | ≤1700 |
籽晶杆升速 | mm/h | 0.6~8.5 |
籽晶杆转速 | rpm | 0~100 |
籽晶杆行程 | mm | 400 |
交流电源 | v | 220/380 |
热区直径 | mm | 300 |
1.电器控制部分,控制箱为19”-3U标准控制箱。 籽晶传动部分,传动系统:提拉、转动步进电机和驱动器各一套。控制卡一个。有位置限位功能,采用滚珠丝杠,螺距5 mm。提拉行程480 mm
2.水冷系统,可根据客户要求在炉膛外壳添加水循环系统,增加整体炉膛的降温速度,炉壳表面温度在30度左右,并提高了操作人员的安全性。
3.保温炉体,炉膛采用进口氧化铝多晶体纤维材料,长时间使用不会有开裂现象以及整个炉膛内环境的清洁。可耐2200度高温。
4.晶体炉架和提拉装置:晶体炉本身是为1.5---5.5英寸晶体生长设计的。对于晶体炉,炉膛温去的直径可达400 mm,高450 mm。它可以在低真空+气体保护下工作或流动保护气体下工作。
网站导航
|
晶体石英系列
|
实验设备系列
|
中国科学院上海光学精密机械研究所红外光学材料研究中心光电子材料仪器事业部
地址:上海嘉定区招贤路200号
电话:021-69522126
传真:021-69513319
友情提醒:
在您选购时,敬请向我方工作人员索取资质证书,确保真实可靠,谢谢!